GB/T 42720-2023电子特气　六氯乙硅烷.pdf

ICS71.100.20 CCSG86 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42720 2023 电子特气 六氯乙硅烷 — Electronicsecialt as Hexachlorodisilane p yg 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42720 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC203 : 、 、 ( ) 、 本文件起草单位 洛阳中硅高科技有限公司 昊华气体有限公司 亚洲硅业 青海 股份有限公司 中 ( ) 、 、 、 船 邯郸 派瑞特种气体股份有限公司 福建久策气体股份有限公司 湖州市南浔区佰通标准化研究院 、 、 、 广东华特气体股份有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 江西华特电子化学品有限公司 北京高麦克 、 、 、 仪器科技有限公司 浙江博瑞电子科技有限公司 玉门大洋天庆石化有限责任公司 湖北和远气体股份 、 、 、 、 有限公司 三峡大学 内蒙古兴洋科技股份有限公司 福建德尔科技股份有限公司 宁夏胜蓝化工环保科 、 、 ( ) 、 、 技有限公司 武汉新硅科技潜江有限公司 太和气体 荆州 有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 大 、