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本实用新型提供了一种基于荧光法的热传导真空计，其用于测量真空腔室内的气压以及真空度，包括真空计外壳(1)、在真空计外壳内设置的荧光材料(2)、光学探头(3)，所述光学探头(3)间隔所述荧光材料(2)设置，其中，在工作状态下，所述荧光材料(2)被激发发出荧光，所述光学探头(3)接收所述荧光并通过光纤(4)传递至变送器(5)，所述变送器(5)计算出真空度。本实用新型所采用的光学探头和荧光材料的几何尺寸可以非常小，对应的热容也很小，测量响应度高，利于小型化和集成化。本实用新型结构简单、使用方便、测量准
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210128790 U
(45)授权公告日
2020.03.06
(21)申请号 20192
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