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本实用新型是关于硅片分离领域，具体涉及一种用于硅片陶瓷盘分离机的转台装置。包括空心主轴，主轴顶端连接圆盘，底部连接电动机；主轴底部上设有水平的安装板，安装板上端面设有内挡水罩，电动机底端与水平连接板相连；安装板下端设有若干竖向的圆形支柱，圆形支柱底端穿过连接板与设于下方的固定板相连；导向轴中部装设于轴承内，导向轴顶端与固定板上方的连接板相连，底端与设于固定板下方的升降板相连；固定板下端面上设有升降气缸，升降气缸输出轴与升降板相连。本实用新型有益于硅片陶瓷盘分离机构的铲刀下到适合位置，帮助硅片陶瓷
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210142638 U
(45)授权公告日
2020.03.13
(21)申请号 20192
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