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一种纯化柜漏气报警处置方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-08-19 发布于四川
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一种纯化柜漏气报警处置方法及系统.pdf

    本发明提供了一种纯化柜漏气报警处置方法及系统。所述方法包括：根据纯化柜的漏气报警信号确定与泄露气体相关的第一数据以及与纯化柜相关的第二数据；根据第一数据和第二数据生成漏气报警处置方案，并执行。本发明的方案可确定出最合适的漏气报警处置方案，从而获得更为良好的纯化柜漏气报警处置效果。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116612613 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310600238.7 (22)申请日 2023.05.25 (71)申请人 上海和宏电子科技有限公司 地址

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