一种薄膜双面荧光信号检测装置及检测方法.pdfVIP

下载本文档

3
0
约9.99千字
约 9页
2023-08-19 发布于四川
举报
版权申诉

一种薄膜双面荧光信号检测装置及检测方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种薄膜双面荧光信号检测装置及检测方法，装置包括：测试腔体和光路系统，测试腔体部分嵌入所述光路系统中，其中，测试腔体包括腔体和循环气路，用于为薄膜试样提供测试气氛并屏蔽外界光源干扰；光路系统包括入射光镜、上角全反射镜、下角全反射镜和入射光反射镜，入射光镜的透光模式可调节，入射光反射镜的角度可调节，通过调节入射光镜的模式及入射光反射镜的角度，进行薄膜试样上下表面单独或同时荧光信号的检测。通过检测装置对薄膜试样进行上下表面原位单独检测及薄膜试样上下表面原位同时检测，提高了荧光分析技术在半导

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111380847 A (43)申请公布日 2020.07.07 (21)申请号 20201