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本实用新型涉及一种物体间距测量传感器，包括基座、与所述基座相连接的滑动测量头、位于所述基座与所述滑动测量头之间的弹性支撑件、固定于所述基座上的定极电容元件以及固定于所述滑动测量头上的动极电容元件；所述定极电容元件与所述滑动测量头之间形成第一间隙；所述动极电容元件与所述基座之间形成第二间隙。相应的，本实用新型还提供基于所述测量传感器的测量装置。本实用新型提供的物体间隙测量传感器的定极电容元件与动极电容元件采用同轴圆柱状壳体结构，定极电容元件与动极电容元件之间形成圆柱形的电容结构，使用时根据圆柱形电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210135886 U
(45)授权公告日
2020.03.10
(21)申请号 20192
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