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本发明提供一种多边形单晶硅棒，包括2N边形端面和设于所述端面间2N个平面，所述2N边形至少有一组对边为晶向，且所述平面至少有一组对位面为(100)晶面，其中，N≥3且为整数。本发明提出的多边形单晶硅棒，对其结构进行优化，保证其平面至少有一组对位面为(100)晶面，可获得粗糙度低且平整度高的表面质量，提高了后续加工多边形硅片的成品率，结构设计合理。本发明还提出一种多边形单晶硅棒的加工方法，计算并确定出哪一晶面容易开裂，同时根据不同晶面指数的结构特点来调整加工工艺,可获得一种表面质量稳定、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109968136 A
(43)申请公布日
2019.07.05
(21)申请号 20191
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