一种研磨液、制备方法及用途.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种研磨液、制备方法及用途.pdf

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本发明提供一种研磨液、制备方法及用途，所述研磨液包括重量配比如下的各组分：油性溶剂50‑90份；分散剂1‑10份；触变剂1‑5份；悬浮增效剂1‑5份；稳定剂0.1‑0.5份；电荷斥力剂0.1‑0.5份；纳米粒子0.01‑0.1份；金刚石磨料10‑20份。本发明研磨液适用于蓝宝石、氮化铝、氮化镓或单晶金刚石衬底的精密研磨。本发明研磨液在长时间剪切作用下，磨料仍保持良好的悬浮，具有循环寿命长，磨削效率高的优点；本发明研磨液具有优异的分散作用，能有效地将研磨过程产生的纳米颗粒分散开，避免吸附到磨料表面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116606630 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310581761.X (22)申请日 2023.05.23 (71)申请人大连奥首科技有限公司地址 11