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本发明涉及光学制造与检测技术领域,提供一种轮廓测量方法、装置、设备和存储介质,方法包括:获取待测元件的多个第一测量点和至少两个轮廓点;根据预设的元件加工路径和多个第一测量点,得到待测元件的第一轮廓信息;针对每个第一测量点,根据第一测量点的初始位置信息、第二测量点与第一刀具加工点的相对位置信息,以及至少两个轮廓点,确定第一测量点的半径补偿方向;第一刀具加工点与第二测量点对应;根据各个第一测量点各自对应的半径补偿方向和第一轮廓信息,得到待测元件的第二轮廓信息。本发明减小了由测头半径引起的测量误差,简
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116604399 A
(43)申请公布日 2023.08.18
(21)申请号 202310893508.8
(22)申请日 2023.07.20
(71)申请人 通用技术集团机床
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