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本发明提供了一种晶圆搬运的控制系统及其控制方法，包括：传感元件，设于晶圆装卸机上，用以识别初始标记点，并获取传感元件与机台臂之间的测量距离数据，其中，初始标记点位于靠近晶圆传送盒的机台臂的一端上；以及主控系统，与传感元件通信连接，主控系统中存储有预警距离范围集数据，其中，晶圆传送盒中的晶圆与预警距离范围集数据中的某一个预警距离范围数据相对应；其中，主控系统根据测量距离数据与对应的预警距离范围数据的比较结果，以进入不同的工作状态。通过本发明公开的一种晶圆搬运的控制系统及其控制方法，能够对机台臂进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116613094 A
(43)申请公布日 2023.08.18
(21)申请号 202310889845.X
(22)申请日 2023.07.20
(71)申请人 合肥晶合集成电路股份有限公司
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