一种真空高压环境用的封微孔机.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种真空高压环境用的封微孔机.pdf

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本发明涉及封微孔机械领域，特别是涉及可在真空高压环境下使用的封微孔机械，具体是公开一种真空高压环境用的封微孔机，包括压力容器和封微孔操作装置，压力容器为可密闭容器，其容器壁上设有电极接头、配气接头阀及取放舱门，封微孔操作装置包括多轴笛卡尔坐标移动装置、通过搭载在多轴笛卡尔坐标移动装置上的载胶片和工件定位板以及传感定位结构，多轴笛卡尔坐标移动装置搭载载胶片和工件定位板移动调整使得两者可为上下对应。本发明结构的封微孔机其机械本身能够达到高精度、有效可靠的机械自动化操作，又可实现降低上述工件封微孔操作

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116605461 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310897072.X (22)申请日 2023.07.21 (71)申请人泉州通维科技有限