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一种硅片研磨机磨盘盘面修正轮的存放装置，包括存放柜，所述存放柜内腔并列设置多个竖直的间隔栏，相邻间隔栏之间的空腔下方转动设置至少两个齿轮，间隔栏之间的空腔放入修正轮后，修正轮外圆周的齿轮与间隔栏下方的齿轮啮合；间隔栏上方设置喷淋装置，齿轮下方设置回收槽，回收槽底部设置排液管；所述存放柜的腔室密封。通过该装置的间隔栏、齿轮将修正轮竖直放置且隔开，防止修正轮发生磕碰；该装置的喷淋装置可以喷淋防锈油，修正轮使用完毕且表面的研磨液冲洗干净后进行喷涂防锈剂存放，防止修正轮发生锈蚀；存放柜密封设置可以防尘、
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219543132 U
(45)授权公告日 2023.08.18
(21)申请号 202320457628.9
(22)申请日 2023.03.10
(73)专利权人 洛阳鸿泰半导体
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