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本发明涉及一种控温测试台及测试系统，控温测试台包括承载组件及探针组件，承载组件具有用于收容电子元件，如芯片的检测槽。冷媒机构生成的控温气体进入气体通道后，可通过扩散孔向检测槽扩散。检测槽内的电子元件的底面朝向扩散孔，控温气体能够直接吹向电子元件的底面。控温气体流经气体通道时，还能够对穿过气体通道的探针进行控温。而且，控温气体还能够从电子元件的底面与检测槽的底壁之间的间隙流过，从而对探针的顶部实现控温，以使探针的顶部与电子元件保持温度的一致。因此，当压接机构将电子元件压接于探针时，由于电子元件与探
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116609553 A
(43)申请公布日 2023.08.18
(21)申请号 202310541407.4
(22)申请日 2023.05.11
(71)申请人 杭州长川科技股份
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