一种光学芯片表面沾污缺陷检测方法及线激光视觉检测系统.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种光学芯片表面沾污缺陷检测方法及线激光视觉检测系统.pdf

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一种光学芯片表面沾污缺陷检测方法，采集待检测芯片的表面图像，对预处理得到的图像进行缺陷提取，计算提取的芯片表面图像样本的缺陷特征值；对已知缺陷所属类别的芯片表面图像进行处理，得到芯片表面样本的缺陷特征值，并利用所述芯片样本的缺陷所属的类别的缺陷特征值行处理，得到已知缺陷所属类别的芯片表面缺陷特征值；然后利用数字图像处理算法得到待检测芯片的缺陷特征值，得到所述待检测芯片的缺陷所属的类别。一种线激光视觉检测系统，包括：线激光扫描相机，数据采集卡，FPGA图像处理模块，HALCON数字图像处理模块；F

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111707614 A (43)申请公布日 2020.09.25 (21)申请号 20201