一种上下料系统及半导体工艺设备.pdfVIP

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2023-08-19 发布于四川
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一种上下料系统及半导体工艺设备.pdf

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一种上下料系统及半导体工艺设备，用于驱动半导体工艺设备的石英舟进出反应腔室，上下料系统包括机械手、安装架、传动组件和运输组件；其中，传动组件设于安装架上，运输组件驱动连接于传动组件；机械手能够前后伸缩和上下运动，用于将石英舟放置于运输组件；运输组件用于在传动组件的驱动下沿竖直方向和水平方向运动，以驱动石英舟进出对应的反应腔室。本发明涉及的上下料系统，通过传动组件进行水平运动和竖直运动，以使运输组件驱动石英舟同步运动，避免多个推拉舟间隙较小造成石英舟和机械手损坏的问题，且制造成本较低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113479618 A (43)申请公布日 2021.10.08 (21)申请号 202110490479.1 (22)申请日 2021.05.06 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司