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- 2023-08-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种涂布管路，通过在涂布管路上设置排气装置，及时排出涂布液中的气泡，防止涂布液中的气泡随涂布液进入涂布模具，最终转移到基板上，从而导致基板上涂布液的气泡状缺陷，影响产品良率；通过回收再利用装置将清洗管路时管路中的涂布液回收再利用，并通过向回收再利用装置中添加涂布液，不需要停机添加涂布液；解决的问题是，现有的涂布液在管路和机构中流动时且某些涂布液的特性会导致细小气泡产生，在涂布过程中气泡会顺管路进入涂布模具，最终转移到基板上，从而导致基板上涂布液的气泡状缺陷，从而影响产品良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210146377 U
(45)授权公告日
2020.03.17
(21)申请号 20192
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