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- 2023-08-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种具有冷却机构的PVD装置，包括转动安装的上下贯通的散热转腔，该散热转腔的腔壁中空设置散热流道，散热转腔内安装叶轮，散热转腔与散热流道之间通过散热流道上的流道孔连通，散热转腔设置相对转动的下散热体和上散热体，下散热体和散热转腔一体设置，上散热体通过加速齿轮与散热转腔联动；PVD操作室设置接通孔，上散热体和下散热体设置散热体孔，散热转腔转动时散热流道和PVD操作室之间通过接通孔、散热体孔、流道孔间歇连通。本实用新型的具有冷却机构的PVD装置，通过PVD操作室与接通孔、散热体孔、流
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210149960 U
(45)授权公告日
2020.03.17
(21)申请号 20192
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