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转换式物理气相沉积粒子源.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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转换式物理气相沉积粒子源.pdf

    本发明公开了一种转换式物理气相沉积粒子源，其可在真空腔室内工艺过程中实现不同功能的粒子源的直接转换，其包括多组粒子源、水冷组件、电极组件、挡板组件、固定组件及转动密封组件，多组粒子源装配在水冷组件的水冷座上，在某组粒子源使用时，挡板组件可遮挡粒子进入装置内部，水冷组件、转动密封组件、外接电极及挡板组件固定在固定组件上，多组粒子源包括磁控溅射组件、多弧离子镀组件、潘宁离子源组件、放电电极及其他物理气相沉积中的粒子源，外接电机通过转动密封组件动力传输作用在装置上，可实现多组粒子源在工艺过程中实现互换

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 108359937 A (43)申请公布日 2018.08.03 (21)申请号 20181

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