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本发明公开了一种双波段照明系统及具有其的无掩模直写光刻设备，双波段照明系统包括：第一光源、第一光棒、第二光源、第二光棒、第一透镜组、第二透镜组、光阑、适用于耦合光线的耦合透镜、第三透镜组、数字微镜器件，耦合透镜耦合第一光源和第二光源发出的光线；第三透镜组设于耦合透镜的光线传输路径上,数字微镜器件设于第三透镜组的一侧；其中，第一透镜组与耦合透镜之间设有光阑。这样，通过设有第一光源和第二光源发出光线，并在耦合透镜上进行耦合后传递，使得进行耦合的两种光线的比例能够进行调整，降低双波段照明系统所匹配成像
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113515023 A
(43)申请公布日 2021.10.19
(21)申请号 202110858433.0
(22)申请日 2021.07.28
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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