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本申请提供一种基于光电二极管的光栅扫描角度检测方法及系统，该方法包括：利用光电二极管对待测光信号进行转换，并对转换的电信号进行滤波、幅值钳位和模数转换，得到光电二极管的数字信号码值；基于数字信号码值生成信号采集波形曲线，并寻找位于同一周期内且大于预设阈值的任意两个连续相邻的波峰，并基于两个波峰的间隔时间计算微镜发生衍射时的光栅扫描角度。本申请通过在数字电信号的信号采集波形曲线中进行寻峰探测，再根据寻峰探测结果计算微镜发生衍射时的光栅扫描角度，不仅可以实现对整个光栅扫描微镜的精准控制，而且还能够规
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116625279 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310580863.X
(22)申请日 2023.05.22
(71)申请人 重庆四联传感器技术有限公司
地址
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