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- 2023-08-23 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆盒双轴联动输送机构，包括机架、载料盘、双轴滑移组件以及交替托抬组件，双轴滑移组件包括X轴滑移组件和Y轴滑移组件，X轴滑移组件包括X轴滑移气缸、X轴滑轨、X轴导杆以及交替托抬组件，交替托抬组件固定在X轴滑移气缸上，包括顶升气缸、连接板、抬架以及承托盘，承托盘通过固定板连接，下端连接伸缩气缸，伸缩气缸底座固连有支架，支架两端分别固连有Y轴滑移组件和滑块。该晶圆盒双轴联动输送机构利用X轴滑移组件和Y轴滑移组件构成的双轴联动动作，通过抬架上下左右位移动作将晶圆盒进行抬升移送，再由
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210192747 U
(45)授权公告日
2020.03.27
(21)申请号 20192
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