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本发明公开了一种微电子机械系统陀螺仪，属于传感器技术领域。陀螺仪包括依次键合的第一晶圆层、第二晶圆层和第三晶圆层；第一晶圆层上具有垂直于第一晶圆层的多个功能电极，相邻的功能电极之间具有垂直于第一晶圆层的隔离通孔，多个功能电极之间通过隔离通孔相互绝缘隔离，多个功能电极包括第一调频电极；第二晶圆层包括至少一个质量块，每个质量块均通过锚点结构悬挂于第一晶圆层上，且质量块可绕锚点结构沿平行或垂直于第二晶圆层的方向振动；第三晶圆层的与第二晶圆层键合的一面上具有第二调频电极，第一调频电极和第二调频电极用于调
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116625341 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310596034.0
(22)申请日 2023.05.24
(71)申请人 依迈微（北京）科技有限公司
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