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固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法以及处理液.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法以及处理液.pdf

    本发明提供一种可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法，并且提供一种在上述固化物的制造方法中所使用的处理液。固化物的制造方法包括：膜形成工序，将包含环化树脂的前体的树脂组合物适用于基材上而形成膜；处理工序，使处理液与上述膜接触；及加热工序，在上述处理工序之后对上述膜进行加热，上述处理液包含选自具有酰胺基的碱性化合物及具有酰胺基的碱产生剂中的至少1种化合物。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116635453 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202280008338.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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