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激光干涉仪.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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激光干涉仪.pdf

    本发明提供的激光干涉仪可以抑制对象物的测量结果中的外部干扰的影响，而且能够谋求小型化。激光干涉仪的特征在于，具备：激光光源，射出第一激光；光调制器，具备振动元件，使用所述振动元件对所述第一激光进行调制，生成包含调制信号的第二激光；受光元件，接收第三激光及所述第二激光，并输出受光信号，所述第三激光是所述第一激光在对象物反射而生成的且包含采样信号；解调电路，从所述受光信号解调所述采样信号；以及校正电路，从所述振动元件的振动的变化检测作用于所述振动元件的力，并根据所述力校正所述受光信号。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116625481 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310128655.6 (22)申请日 2023.02.16 (30)优先权数据 2022-023681 202

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