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- 2023-08-23 发布于四川
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本发明公开了物理量传感器、惯性测量装置以及制造方法，能够避免伴随着可动体的质量不均匀性的不良情况。物理量传感器检测第三方向上的物理量，包括固定于基板的固定部、一端与固定部连接的支承梁以及可动体。可动体具有可动电极部以及框架部。在固定电极部设置有第一固定电极组和第二固定电极组。在可动电极部设置有第一可动电极组和第二可动电极组。而且，在第一可动电极组设置有向第三方向凹陷的第一凹部，在第二固定电极组设置有向第三方向凹陷的第二凹部，在框架部的第二可动电极组侧的区域设置有向第三方向凹陷的第三凹部。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116621111 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310139332.7 B81C 1/00 (2006.01)
(22)申请日 2023.02.2
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