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- 2023-08-23 发布于四川
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本发明提供一种衬底处理条件的设定方法、衬底处理方法、衬底处理条件的设定系统、及衬底处理系统。衬底处理条件的设定方法包含：步骤(S24)，对基于学习用处理条件、及以学习用处理条件处理衬底(W)时的处理结果进行机械学习后的已学习模型(M)，输入多个处理条件，取得多个推定处理结果；步骤(S26)，使显示部(105)显示基于多个推定处理结果的图像；及步骤(S27及S28)，基于显示于显示部(105)的图像，将与多个推定处理结果中的1个推定处理结果对应的1个处理条件，设定为处理衬底(W)时的执行处理条件。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116631895 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310046730.4
(22)申请日 2023.01.13
(30)优先权数据
2022-024128 202
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