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- 2023-08-23 发布于四川
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本申请涉及晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆浸泡片盒装置。该晶圆浸泡片盒装置包括挡板、箱体、抖动驱动机构和晶圆固定组件；箱设置有箱体开口，挡板可开合地设置于箱体开口处；抖动驱动机构与箱体相连接，并能够驱动箱体往复移动；箱体内的晶圆固定组件包括两个相对设置的定位主体，定位主体上设置定位凹槽，定位凹槽形成有第一槽底和第二槽底，并贯通定位主体面向挡板的端部，两个定位主体上的定位凹槽一一对应地成组设置，当晶圆插接于定位凹槽内，成组设置的定位凹槽的第一槽底抵持晶圆的外沿，定位凹槽的第二槽底与挡板在预
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116631900 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310361922.4
(22)申请日 2023.04.06
(71)申请人 北京半导体专用设
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