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一种垂直腔面发射激光器的形成方法，包括：提供衬底；在衬底第一面上依次形成第一反射镜结构、有源层、第二反射镜结构和钝化结构；在器件区形成第一凹槽，在切割区上形成切割凹槽，第一凹槽和切割凹槽贯穿钝化结构且暴露出第二反射镜结构表面；在第一凹槽内、切割凹槽内和与第一凹槽相邻的部分钝化结构表面形成第一电极层；在第一电极层上和钝化结构上形成图形化的光刻胶层；去除切割凹槽内的第一电极层；以图形化的光刻胶层为掩膜，沿切割凹槽对第二反射镜结构、有源层、第一反射镜结构和衬底进行切割，形成分立的器件。所述方法使得形成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116632654 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310579721.1
(22)申请日 2023.05.22
(71)申请人 常州承芯半导体有限公司
地址 2
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