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基板处理装置和基板处理方法.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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基板处理装置和基板处理方法.pdf

    本发明的课题是缩短基板处理装置的长度。本发明的解决方案的基板处理装置具有去程部分以及回程部分，基板在去程部分上移动，去程部分从基板被从索引器装置搬入的被搬入区域到朝向曝光装置搬出基板的接口部为止，从曝光装置向接口部搬入的基板在回程部分上移动，回程部分从接口部到朝向索引器装置搬出基板的被搬出区域为止。去程部分包含清洗部，对从索引器装置搬入的基板实施清洗处理；涂覆部，在用清洗部实施过清洗处理的基板上涂覆处理液；缓冲部，暂时收纳基板；以及搬送机器人，从清洗部搬出基板，向缓冲部搬入基板，从缓冲部搬出基板

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116631923 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202211658220.4 (22)申请日 2022.12.22 (30)优先权数据 2022-023968 202

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