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曝光用光照射装置、曝光装置以及曝光方法.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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曝光用光照射装置、曝光装置以及曝光方法.pdf

    本发明提供一种曝光用光照射装置，能在不加长光源与复眼透镜之间的距离的前提下降低整个曝光工序中的照射面上的累计照度的不均。利用配置有多个光源(22)的曝光用光源(12)、接收来自曝光用光源(12)的光(L)的复眼透镜(14)、以及在曝光过程中使曝光用光源(12)和复眼透镜(14)当中的至少一者沿与曝光用光源(12)的光轴(CL)正交的方向移动的移动装置(16)来构成曝光用光照射装置(10)。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116624812 A (43)申请公布日 2023.08.22 (21)申请号 202310055721.1 F21V 21/30 (2006.01)

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