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晶圆除杂输送装置.pdfVIP

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  • 2023-08-23 发布于四川
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晶圆除杂输送装置.pdf

    本实用新型公开了晶圆除杂输送装置，涉及晶圆技术领域。其技术方案要点是：包括炉体，炉体的一侧开设有进料口，炉体的一侧设有连通进料口的处理箱，处理箱内存在有输送物料的通道，处理箱内设有除杂组件，处理箱上固定连接有驱动件，驱动件用于驱动除杂组件沿处理箱高度方向做往复运动。本实用新型通过驱动件的设置，驱动件用于驱动除杂组件沿处理箱高度方向做往复运动，并对处理箱内的物料与杂物分离，提高炉体整体的提炼效率。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219568129 U (45)授权公告日 2023.08.22 (21)申请号 202320016976.2 (22)申请日 2023.01.04 (73)专利权人 苏州格罗德集成电路有限公司 地址

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