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本发明提供了一种相变彩色光刻胶及其像素化彩色滤光片制备方法，属于彩色光刻胶技术领域，相变彩色光刻胶包括由下而上的金属层和硫系相变材料层；金属层为半透明半反射层，硫系相变材料层为介质层，金属层和硫系相变材料层共同构成不对称的Fabry‑Perot光学共振腔；通过调整金属层和硫系相变材料层的厚度和结晶程度，实现不同结晶度下不同颜色的选择；利用硫系相变材料在刻蚀溶液中非晶态被刻蚀掉而结晶态保留的特性，实现彩色光刻胶的像素化。本发明基于相变彩色光刻胶，只需要执行一次光刻步骤即可制备出抗氧化、高热稳定性的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116626992 A
(43)申请公布日 2023.08.22
(21)申请号 202310599254.9
(22)申请日 2023.05.25
(71)申请人 华中科技大学
地址 430074
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