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本实用新型公开了一种MEMS微镜测试系统，包括测试台和激光器，测试台安装有探针和载台；所述载台上方依次设置有分光镜、屏幕和相机，激光器发射的激光照射到分光镜上，分光镜将激光反射到载台。可以直接测试没有封装的MEMS微镜的性能，一旦检测出不合格的产品，即无需进行后续的封装工艺，节约封装成本。而且，本实用新型可以将加工完成的包含多个MEMS微镜芯片的晶圆放置在载台上，通过驱动装置驱动载台运动，既可以测试单颗MEMS微镜，也可以自动连续测试晶圆上所有的MEMS微镜，相比现有测试方案，可以大大提高测试效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210198677 U
(45)授权公告日
2020.03.27
(21)申请号 20192
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