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本实用新型涉及一种基于激光散射法的表面粗糙度测量仪。原理为:将激光束垂直通过与水平面成45°角的分光镜后入射到被测物体表面,光束经过散射后回到45°分光镜,经过反射后进入采集屏上形成光斑,再由数据采集系统拍摄采集屏上光斑图像;由于被测物体表面粗糙度不同,光的散射程度不同,就直接影响了光斑图像的特征参数、亮点比和亮点灰度比三个特征参数,利用特征参数和表面粗糙度之间的关系曲线,计算被测物体的粗糙度数值。本实用新型能够实现加工工件表面粗糙度的在线测量,保证产品的质量,提高产品的良品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210198331 U
(45)授权公告日
2020.03.27
(21)申请号 20192
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