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一种送料装置,属于输送装置技术领域。送料装置包括机架,以及设置于机架上的升降机构,升降机构用于带动移动机构横向移动。移动机构包括传动齿轮和输送链条;输送链条具有传动部和承载部,传动部与传动齿轮传动连接;承载部的下方设置有固定件;固定件处设置有卡块,卡块的延伸方向与移动机构的移动方向一致,用于与晶托的卡槽契合以带动晶托沿往返运动,以将晶托推入或退出切片区域。利用移动机构带动晶托往返运动,可以避免人工拉动晶托而导致固定于晶托处的硅片偏斜,提高硅片的质量。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219563761 U
(45)授权公告日 2023.08.22
(21)申请号 202320523388.8
(22)申请日 2023.03.16
(73)专利权人 通合新能源 (金堂)有限公司
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