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本实用新型公开了一种探针台晶圆测量控制装置，涉及探针台技术领域。该探针台晶圆测量控制装置，括固定台，固定台的顶面固定连接有探针台，探针台的顶面设置有晶圆，所述探针台的顶面开设有限位槽，探针台顶面的左右两侧均固定连接有支撑板，两个支撑板的顶面均滑动连接有连接件，两个连接件的相对面固定连接有滑杆，滑杆上滑动套接有连接套，连接套的前表面固定连接有探针器本体，限位槽的内部设置固定装置。通过固定装置的设置，利用两个夹板与晶圆进行紧密贴合，从而在对晶圆进行检测时，能够防止晶圆发生位置，对晶圆起到一个固定的作
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219574292 U
(45)授权公告日 2023.08.22
(21)申请号 202320520003.2 G01R 1/04 (2006.01)
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