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一种砷化镓的多晶合成装置.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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一种砷化镓的多晶合成装置.pdf

    本实用新型公开了一种砷化镓的多晶合成装置，包括炉膛和反应容器，所述炉膛前后两侧沿竖直方向固定有多个电加热器，所述炉膛底部内侧固定连接有固定夹板。有益效果在于：本实用新型通过半球形密封帽部分陷入固定夹板的方式固定下腔，同时通过活动夹板下降使半球形密封帽部分陷入活动夹板固定上腔，并通过拉杆卡入限位孔的方式实现活动夹板与固定夹板相对高度的锁止，以此通过活动夹板和固定夹板配合竖直固定反应容器，实现了通过可拆卸的安装方式来代替通过加装螺钉将反应容器装入炉膛的固定方式，拆装操作方便且省时省力，便于反应容器在

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215615 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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