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一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器.pdf

    本实用新型公开了一种VGF法砷化镓单晶用脱舟器,包括箱体，所述箱体通过转轴安装有活动门，所述箱体的内底面安装有竖直的伸缩杆和固定竖板，所述伸缩杆的顶端固定连接有托盘，所述托盘的上表面放置有坩埚本体，下表面滑动连接有收集槽，所述固定竖板的顶端开设有螺纹孔，所述螺纹孔内部螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外端焊接有固定把手，内端通过轴承焊接有夹具，所述箱体的内侧壁和顶壁均通过安装座安装有加热管。综上所述，本实用新型的有益效果在于：利用砷化镓晶体与氧化硼的熔点差值，通过加热管对坩埚本体进行加热，使氧化硼熔

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215616 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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