1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种钟罩式化学气相沉积炉.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约6.96千字
  • 约 8页
  • 2023-08-25 发布于四川
  • 举报

一种钟罩式化学气相沉积炉.pdf

    本实用新型公开了一种钟罩式化学气相沉积炉，包括底座、第二炉体、第一连接齿轮和电机，所述底座的上方设置有第一炉体，且第一炉体的顶部连接有炉盖，并且炉盖的上方设置有连接口，所述第二炉体设置于第一炉体的内部，且第二炉体的顶部安装有固定板，并且固定板通过凹槽与密封套环相连接，所述凹槽开设于密封套环的底部，且密封套环通过连接板与炉盖相连接。该钟罩式化学气相沉积炉，第二炉体内部设置有连接杆，且连接杆左侧连接的刮板和第二炉体为贴合连接，当第二炉体转动时，可以通过刮板将第二炉体内壁上留有的杂质进行刮除，实现对第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215540 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >