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一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于玻璃基片抛光的真空吸附与吹气下料装置，包括真空吸附盘和真空吸附气路，真空吸附盘上设置有多个吸附气孔，真空吸附气路的一端与一气源连接，另一端与吸附气孔连接，还包括预吹气下料气路和主吹气下料气路，预吹气下料气路包括调压阀和预吹气控制阀，主吹气下料气路包括主吹气控制阀，调压阀的一端与气源连接，另一端与预吹气控制阀的一端连接，主吹气控制阀的一端与气源连接，预吹气控制阀和主吹气控制阀的另一端均与吸附气孔连接。本实用新型通过设置预吹气下料气路和主吹气下料气路，从而实现了玻璃基片的分步

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210209917 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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