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一种用于微电子元器件剥料的超声换能器.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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一种用于微电子元器件剥料的超声换能器.pdf

    本实用新型提供一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，至少包括：换能器本体和与所述换能器本体相连的工作头，所述工作头的工作面开设有凹陷开口腔室。所述超声换能器还包括负压管路，所述负压管路的吸口与所述凹陷开口腔室相联通。凹陷开口腔室使得振动能量被均匀分散到外周，传递到膜上的振动会均匀分布到元器件上。同时中间凹陷开口腔室相当于使工作面变成前半部分振动区域，后半部分振动区域，实际工作时，不用调整工作头安装角度，前半部分实现一次剥离，后半部分又实现二次剥离，故操作简单，剥料效果好。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210207518 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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