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一种多室砷化镓单晶生长炉.pdfVIP

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  • 2023-08-25 发布于四川
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一种多室砷化镓单晶生长炉.pdf

    本实用新型公开了一种多室砷化镓单晶生长炉，包括支撑杆，所述支撑杆上表面安装有承载板，所述承载板底面设置有若干顶部安装筒，所述顶部安装筒以所述支撑杆的轴线为中心圆周阵列布置，所述顶部安装筒下端安装有加热炉，所述加热炉形成从上至下温度逐渐变低的温度梯度，所述加热炉与所述顶部安装筒同轴且相连通，所述承载板表面通过密封轴承安装有若干丝杠，所述承载板上表面设置有驱动组件。有益效果在于：通过对多个炉体内的螺纹管套进行同时驱动，使螺纹管套带动石英管进行同步移动，实现单晶的同步生长，提高单晶制备效率；螺纹管套在

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210215618 U (45)授权公告日 2020.03.31 (21)申请号 20192

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