一种新型抛光衬垫及其制造方法.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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一种新型抛光衬垫及其制造方法.pdf

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本申请涉及电子化学材料加工技术领域，具体公开了一种新型抛光衬垫及其制造方法。所述新型抛光衬垫包括非织造布层以及覆盖在非织造布层表面的含浸树脂层，所述含浸树脂层由含浸浆料的固化产物经过打磨后得到，所述含浸浆料包括如下重量份的组分：水性树脂90‑94份，羧基改性石英粉4‑6份，聚碳化二亚胺14.4‑14.8份，所述羧基改性石英粉为表面接枝有羧基的石英粉。使用本申请的新型抛光衬垫打磨工件时，含浸树脂层产生的磨损程度相对较小，有助于使抛光衬垫长时间维持良好的抛光效果，延长了抛光衬垫的使用寿命。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116638437 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202310794161.1 (22)申请日 2023.06.30 (71)申请人万桦（常州）新材料科技有限公司地