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本实用新型涉及硅棒加工夹具技术领域,且公开了一种用于多根硅棒加工的固定装置,包括底座组件,所述底座组件的上端设置有左夹具组件,所述底座组件的上端固定连接有右夹具组件,所述底座组件包括有底座本体、固定孔和导轨。该固定装置,通过左夹具组件的多个固定槽一以及右夹具组件的多个固定槽二能够同时加工多根硅棒,减少多根加工存在的误差现象,保障了加工精度还提高了加工效率,通过底座组件的导轨和左夹具组件的导槽能够便于定位对齐夹具且适应不同长度的硅棒,操作方便,通过左夹具组件的通孔和底座组件的固定孔能够便于使用螺栓
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219582685 U
(45)授权公告日 2023.08.25
(21)申请号 202321228210.7
(22)申请日 2023.05.21
(73)专利权人 上海圣永丞半导体科技有限公司
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