一种压电驱动装置及其控制方法.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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一种压电驱动装置及其控制方法.pdf

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本发明属于精密驱动领域，具体涉及一种压电驱动装置及其控制方法。本发明解决了尺蠖型压电驱动装置结构复杂、控制困难的技术问题。该装置包括驱动单元、钳位单元、转子、螺钉和底座；驱动单元和钳位单元通过螺钉安装在底座上；该装置通过对电压信号的时序控制，使驱动单元和钳位单元交替协同工作，可实现大行程高精度旋转运动，可应用于精密超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、生物技术、航空航天等领域。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111162690 A (43)申请公布日 2020.05.15 (21)申请号 20201