一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置.pdfVIP

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2023-08-26 发布于四川
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一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置.pdf

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本实用新型公开了一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室，烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，下烘烤组件和上烘烤组件分别设置于掩膜版支撑架的下方和上方，掩膜版支撑架与上烘烤组件和下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；上烘烤组件固定安装于烘烤室内，上下料抬版空间高度为上烘烤组件与掩膜版支撑架之间距离；本技术方案通过升降机构带动掩膜版支撑架和下烘烤组件上升，压缩上下料抬版空间高度和上下料抬版臂进出空间高度，上烘烤组件和下烘烤组件靠近掩膜版支撑架

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219590669 U (45)授权公告日 2023.08.25 (21)申请号 202321344685.2 (22)申请日 2023.05.30 (73)专利权人合肥清溢光电有限公司地址 2