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3、微作动器 及局部放大图 第二十九页，共四十八页，2022年，8月28日 旋转马达 第三十页，共四十八页，2022年，8月28日 可转动的齿轮 固定的轴 4、活动微齿轮结构 两个相互错开的直道用来限制气体流动的方向，齿轮的旋转靠直道送入的气体来驱动 采用微装配技术完成活动微结构的制作 第三十一页，共四十八页，2022年，8月28日 活动微齿轮： 高230mm 半径200mm 轴半径：80mm 间隙：10mm 该齿轮在气流的作用下能够平稳的转动 其转速可以通过控制气流的大小来控制 第三十二页，共四十八页，2022年，8月28日 5、微齿轮机构 第三十三页，共四十八页，2022年，8月28日 6、MEMS光开关 光开关是一种可对光传输线路或集成光路中的光信号进行相互转换或逻辑操作的器件，广泛使用于光纤通信系统、光纤网络系统、光纤测量系统或仪器以及光纤传感系统和光学信息处理系统中，起开关切换作用，是目前MEMS领域的一个研究的热点。 第三十四页，共四十八页，2022年，8月28日 利用微动微镜制作的光开关矩阵， 在2D结构中，所有微反射镜和输入输出光纤位于同一平面上，通过静电致动器使微镜直立和倒下或使微镜以“翘翘板”的方式来实现光路的导通和断开功能。 1×2，1×4，2×2的光开关 第三十五页，共四十八页，2022年，8月28日 光开关 微机械1X2光开关 微机械1X8光开关 第三十六页，共四十八页，2022年，8月28日 微机械2?2光开关 微机械2 ?2光开关 光开关 第三十七页，共四十八页，2022年，8月28日 第三十八页，共四十八页，2022年，8月28日 7、Bio-MEMS生物微机电系统 许多科学家和研究人员致力于开发新型的用于生物和医学的微机电系统设备。 图为用LIGA技术制作的用于药物注射或采血聚合物和金属微型针头阵列 第三十九页，共四十八页，2022年，8月28日 8、Micropump应用实例 瑞典公司H-TRON plus 的产品携带式的insulin（胰岛素）注射調节器 第四十页，共四十八页，2022年，8月28日 Micropump 的结构和原理check valve flap止回阀片，electrostatic actuation unit静电驱动单元 第四十一页，共四十八页，2022年，8月28日 Diaphragm, 横隔膜,振动膜, counterelectrode计数器电极chamber，腔，室 第四十二页，共四十八页，2022年，8月28日 传感器技术及应用 微电子机械系统 微机电系统的制造技术 光刻掩膜技术 LIGA技术简介 应用实例：1、MEMS加速度计 压电式、电容式 2、静电型梳状作动器 3、微作动器 4、活动微齿轮结构 5、微齿轮机构 6、MEMS光开关 7、生物微机电系统 8、Micropump 9、硅谐振式 第一页，共四十八页，2022年，8月28日 14.2 微电子机械系统（MEMS) 技术及MEMS传感器 MEMS传感器是采用微电子技术和微机械加工技术制造出来的新型传感器，属微电子机械系统MEMS 微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)，是指运用微制造技术在一块普通的硅片基体上制造出集机械零件、传感器执行元件及电子元件于一体的系统。 第二页，共四十八页，2022年，8月28日 一、为什么采取微型化 尺寸变小后 强度变大：大象与蚂蚁比较，躯体尺寸虽然只差1000倍,足部粗細却相差30000倍有余 性能加强：尺寸缩小可提高固有频率，增大感知的频率范围 成本低廉 第三页，共四十八页，2022年，8月28日 二、微机电系统的制造技术 以半导体制作技术为基础的光刻掩膜技术 LGIA技术（x光深刻模造法） 第四页，共四十八页，2022年，8月28日 （一）光刻掩膜技术 例1：悬臂梁式微加速度传感器 1、结构 悬臂梁－弹性元件 敏感质量 2、性能指标: 加速度范围: ±50g 固有频率: 1000Hz 尺寸: 小于 2×2 Cm2 第五页，共四十八页，2022年，8月28日 3、微机械结构的制作过程 Step.1.在基底上涂上一层SiO2作为牺牲层，厚度为2.75μm Step.2. 涂上一层阻光层 第六页，共四十八页，2022年，8月28日 Step.3 使用掩膜形成阻光层形状 Step.4. 对SiO2进行蚀刻，蚀刻气体为CF4/H2. Step.5. 使用丙酮将阻光层去除 第七页，共四十八页，2022年，8月28日 Step.6 沉积硅 Step.8..使用掩膜形成所要的阻光层形状 Step.7. 涂阻光层 第八页，共四十八页，2022年，8月28日 Step