原创力文档- 3
- 0
- 约7.52千字
- 约 8页
- 2023-08-26 发布于四川
- 举报
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，本实用新型通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本实用新型使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210215539 U
(45)授权公告日
2020.03.31
(21)申请号 20192
文档评论（0）