原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请涉及一种承载装置、样品制备设备及样品制备方法，承载装置包括样品台，样品台具有支撑面及凸设于支撑面上的支撑部；样品台上贯穿开设容置通道，容置通道的一端延伸至支撑面。本申请将样品通过支撑部支撑于样品台的支撑面上，通过抽真空的方式使样品与支撑面之间的间隙中的填充物进入容置通道内，从而在样品面向支撑面的一侧形成一层保护层，由此，形成透射样品后，透射样品的上表面通过沉积离子束对上表面的结构及信息进行保护，而透射样品的下表面通过形成的保护层进行保护，从而能够对透射样品的双面进行更全面的信息保护，便于观
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116642915 A
(43)申请公布日 2023.08.25
(21)申请号 202310716109.4
(22)申请日 2023.06.16
(71)申请人 中国电子产品可靠性与环境试验研
文档评论（0）