原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种晶圆化镀设备快排清洗槽装置，涉及晶圆生产技术领域，包括基座，所述基座的顶部外壁一侧固定安装有清洗箱，且清洗箱内设置有多个清洗池，所述基座表面靠近清洗箱的一侧固定安装有回形轨槽，还包括悬挑架和装料组件；本发明当活动卡块能够以震动弹簧为基础在限位滑槽中进行小幅度震动时，延伸柱连同端块能够在惯性作用下，与清洗网箱产生相对位移，此时，设置的带轮杆能够与侧端杆上的弧面凸块相抵触，并在支撑弹簧作用下，使得清洗网箱在横向以及纵向方向上均能够产生一定幅度的震动，从而有利于晶圆与水液的充分接触，进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116646280 A
(43)申请公布日 2023.08.25
(21)申请号 202310625030.0
(22)申请日 2023.05.30
(71)申请人 苏州尊恒半导体科
文档评论（0）